故障现象

　　设备在工作中出现曝光中断，并提示高压严重出错。重启机器后，做曝光预热过程中报错：“General error message”。

　　故障分析与排除

　　根据报错，首先检查高压系统，

　　1）打开配电柜，观察有关高压部分的空气开关和保险丝都正常。

　　2）测量高压阳极模块（APM）和高压阴极模块（CPM）的数据都正常，高压曝光控制板（Rhost）的指示灯也正常。

　　3）然后进入系统的调试模式，用低条件（80 kV，20 mA）进行短时间曝光。

　　4）查看实际的kV和mA值，发现kV值基本正常，但是阳极和阴极的电流不相等，阴极电流很小。

　　可以发现实际通过球管灯丝的电流几乎为零。取下球管阴极高压插头，用万用表测到灯丝变压器阻值很小，球管灯丝阻值为无穷大，基本可以认定是球管灯丝断了。

　　向厂家购买球管并进行更换（需注意更换球管时，连接球管正负极的两根高压电缆线，这两根高压电缆线拆卸下来后需要用干净的塑料袋子装好，防止有灰尘进入）。并在厂家工程师的指导下进行球管的顺应性校准（tube adaptation）。

　　现流程如下：

　　1）Grud Voltage Entry（电压校正）

　　2）Filiament Calibration（灯丝校正）

　　3）Rotal Balance Test（旋转平衡测试）

　　4）Long TC（球管长时间的曝光，高条件训练）

　　5）XRT Z-mechanical Calibration（球管Z轴方向机械调整，在此之前需要做眼模定位）

　　6）Plance Z-mechanical Calibration（前准直器Z轴方向机械校正）

　　7）XRT X-mechanical Calibration（球管X轴方向机械调整）

　　8）XRT FS Width Calibration（焦点宽度定标）

　　9）XRT DFS Position Calibration（动态焦点校正定位）

　　10）XRT SFS Position Calibration（静态焦点校正定位）

　　11）Ultrahigh RES Comn Align Calibration（超高分辨力准直器校正）

　　12）AirCalibration（空气校正）

　　13）Phantom Calibration（水模校正）

　　所有步骤完成后，重启机器，球管预热正常，能进行正常扫描操作，故障排除。